I PECVD-processen (Plasma-to-Chemical Vapor Deposition) påverkar varje elektrisk anslutning, från RF-kraftöverföring till processgaskontroll, direkt jämnheten i tunnfilmsavsättningen och spånutbytet. I den tuffa miljön med miniatyriserad utrustning, högt vakuum och starka elektromagnetiska störningar,WAGOpicoMAX®-kontakter, med sina tre kärnfördelar "kompakthet, tillförlitlighet och effektivitet", har blivit den ideala anslutningslösningen för PECVD-system.
Innovativ kompakt design
Anpassning till precisionskammarlayouter
Det interna utrymmet i PECVD-utrustning är begränsat, vilket kräver tät placering av kraft-, signal- och sensorledningar runt reaktionskammaren. picoMAX® använder en enkelfjäderdesign med dubbelverkande stiftavstånd på 3,5/5,0/7,5 mm. Efter montering tar den upp 30 % mindre utrymme än tidigare produkter och anpassar sig perfekt till ledningskraven runt kammaren. Dess hålkontakt är nästan helt inbäddad i stifthuvudet, vilket möjliggör montering sida vid sida utan polförlust, vilket avsevärt förbättrar kretskortsutnyttjandet och möjliggör ordnad placering av signal- och kraftledningar utan att störa processgasflödesfältet.
Robust skydd mot extrema driftsförhållanden
PECVD-processer involverar högvakuum-, högfrekventa plasma- och vibrationsmiljöer, vilket ställer höga krav på kontaktdonens tillförlitlighet. picoMAX® har en stabil struktur med vibrationstålighet på upp till 12 g, vilket förhindrar att anslutningen lossnar på grund av högfrekventa vibrationer. Den har också en design som förhindrar felinsättning och låsanordning, vilket eliminerar installationsfel och förhindrar oavsiktlig frånkoppling, vilket säkerställer kontinuerlig drift av utrustningen utan driftstopp.
Verktygsfri snabbkoppling
picoMAX® har verktygsfri snabbkopplingsteknik, vilket möjliggör "plug-and-hold"-anslutningar för både enkeltrådiga och flertrådiga kablar med kallpressade kontakter. Komplexa kabelanslutningar slutförs i ett steg, vilket avsevärt förbättrar monteringseffektiviteten och förkortar felsökningscyklerna. Den modulära designen är kompatibel med reflow-lödningsprocesser och uppfyller kostnadsbesparingsbehoven för automatiserad produktion. Den täcker också alla PECVD-anslutningsscenarier: 3,5 mm stiftavstånd rymmer 0,2–1,5 mm² signalkablar, medan 5,0/7,5 mm stiftavstånd stöder 16A kraftledningar. Den stöder kabel-till-kort- och vägggenomföringsinstallationsmetoder, är kompatibel med kopplingsskåp och kavitetskablage och uppfyller GB/T 5226.1 elektriska säkerhetsstandarder, vilket bygger ett solidt försvar för processstabilitet.
Inom halvledarindustrin, där processprecision på nanometernivå är av största vikt, är tillförlitliga anslutningar garantin för hög avkastning.WAGOpicoMAX®, med sitt revolutionerande produktdesignkoncept, uppnår "liten storlek, hög prestanda" i ett kompakt format, vilket ger stabila, effektiva och långvariga anslutningslösningar för PECVD-utrustning. Detta hjälper halvledartillverkare att övervinna utmaningarna med precisionsprocessanslutningar och säkerställer precisionen på mikrometernivå för varje chip.
Publiceringstid: 13 mars 2026